18936116792
相关文章
Related Articles详细介绍
苏州电子特气提纯复叠制冷机组-江苏康士捷机械设备有限公司设计生产，型号齐全。
苏州电子特气提纯复叠制冷机组用于
气体类型 | 用途 | 提纯温度范围 |
高纯硅烷（SiH₄） | CVD沉积、外延生长 | -80℃～-120℃ |
六氟化钨（WF₆） | 金属钨沉积 | -30℃～-50℃ |
三氟化氮（NF₃） | 等离子体清洗 | -60℃～-80℃ |
氯化物（HCl） | 刻蚀、外延 | -85℃～-100℃ |
八氟环丁烷（C₄F₈） | 介电材料刻蚀 | -40℃～-60℃ |
苏州电子特气提纯复叠制冷机组有高温型（5℃～35℃）、中温型（-5℃～-40℃）、低温型（-40℃～-80℃）、极低温型（-150℃～-80℃）、冷热两用型（-150℃～+300℃）等系列产品供贵司选用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬装式，变频型等。接受非标定做。温度稳定性±0.1℃等可选。
苏州电子特气提纯复叠制冷机组多案例供参考。
产品咨询
欢迎来到
联系人：赖经理
电话：18936116791
地址：江苏省昆山市周市镇金茂路588号
邮箱：ks@ksjwk.com
传真：86-0512-50339230