18936116792
相关文章
Related Articles详细介绍
光刻胶涂布控温冷水机组选型，价格，方案等与江苏康士捷机械设备有限公司沟通，多案例供参考。
康士捷生产的工业控温设备有高温型（5℃～35℃）、中温型（-5℃～-40℃）、低温型（-40℃～-80℃）、超低温型（-150℃～-80℃）、冷热两用型（-150℃～+300℃）等系列产品供贵司选用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬装式，变频型等。接受非标定做。温度稳定性±0.1℃等可选。
以下列出部分参数，贵司参数沟通选型后确认。
温度稳定性：维持光刻胶涂布环境（如基板、喷头、腔体）的恒温（通常±0.1℃甚至更高精度），避免温度波动导致胶厚不均或图案缺陷。
粘度控制：光刻胶粘度对温度敏感，控温确保胶体流动性一致，保障涂布均匀性。
设备冷却：防止涂布机、烘烤板等部件过热，延长设备寿命。
高精度控温：需达到±0.1℃或更高（如±0.01℃），适应纳米级制程。
快速响应：动态调节能力，应对工艺中的温度突变需求。
流量与压力稳定：确保冷却液流速均匀，避免压力波动影响工艺。
耐腐蚀设计：部分光刻胶含化学溶剂，冷水机需防腐蚀材料（如不锈钢管路）。
低振动/低噪音：避免振动干扰精密涂布过程。
工艺匹配：根据光刻胶类型（如ArF、KrF、EUV）确定温度范围和精度。
系统兼容性：与涂布机、显影机等设备的接口和控温需求匹配。
节能性：变频压缩机、热回收设计可降低运行成本。
水质要求：高纯度去离子水或防冻液，避免管道结垢。
光刻胶涂布控温冷水机组选型，价格，方案等与江苏康士捷机械设备有限公司沟通。
产品咨询
欢迎来到
联系人：赖经理
电话：18936116791
地址：江苏省昆山市周市镇金茂路588号
邮箱：ks@ksjwk.com
传真：86-0512-50339230